El projecte Chip MBE es va completar en els darrers anys

Tecnologia

L’epitaxi de feix molecular, o MBE, és una nova tècnica per créixer pel·lícules primes de cristalls de gran qualitat en substrats de cristall. En condicions de buit ultra-altes, per l'estufa de calefacció està equipada amb tot tipus de components necessaris i generen vapor, a través de forats formats després de colar biga de feix o molecular, la injecció directa a la temperatura adequada del substrat de cristall únic en un substrat "creixement".

Per al funcionament normal dels equips MBE, cal que es transporti de forma continuada i de forma estable la puresa, la baixa pressió i el nitrogen líquid ultra-net. En general, un dipòsit que proporciona nitrogen líquid té una pressió de sortida entre 0,3MPa i 0,8MPa.liquid nitrogen a -196 ℃ es vaporitza fàcilment en nitrogen durant el transport de canonades. Una vegada que el nitrogen líquid amb una proporció de gas-líquid d’uns 1: 700 estigui gasificat a la canalització, ocuparà una gran quantitat d’espai de flux de nitrogen líquid i reduirà el flux normal al final del gasoducte de nitrogen líquid. A més, al dipòsit d’emmagatzematge de nitrogen líquid, és probable que hi hagi deixalles que no s’hagin netejat. Al gasoducte de nitrogen líquid, l’existència d’aire humit també comportarà la generació d’escòria de gel. Si aquestes impureses són descarregades a l'equip, causarà danys imprevisibles a l'equip.

Per tant, el nitrogen líquid al dipòsit d’emmagatzematge exterior es transporta a l’equip MBE al taller sense pols amb alta eficiència, estabilitat i net i la baixa pressió, sense nitrogen, sense impureses, 24 hores ininterrompudes, aquest sistema de control de transport és un producte qualificat.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Equips MBE que coincideixen

Des del 2005, els equips criogènics HL (HL CRYO) han estat optimitzant i millorant aquest sistema i col·laborant amb els fabricants internacionals d’equips MBE. Els fabricants d’equips MBE, inclosos DCA, Reber, mantenen relacions cooperatives amb la nostra empresa. Els fabricants d’equips MBE, inclosos DCA i Reber, han cooperat en un gran nombre de projectes.

Riber SA és un proveïdor mundial líder en productes d’epitaxi de feix molecular (MBE) i serveis relacionats per a la investigació de semiconductors compostos i les aplicacions industrials. El dispositiu Riber MBE pot dipositar capes de material molt primes al substrat, amb controls molt alts. L’equip de buit d’equips criogènics HL (HL CRYO) està equipat amb Riber SA. L’equip més gran és Riber 6000 i el més petit és compacte 21. Es troba en bon estat i ha estat reconegut pels clients.

DCA és el principal òxid MBE del món. Des de 1993, s’ha realitzat el desenvolupament sistemàtic de les tècniques d’oxidació, l’escalfament de substrats antioxidants i les fonts d’antioxidants. Per aquest motiu, molts principals laboratoris han escollit la tecnologia DCA Oxide. Els sistemes MBE de semiconductors compostos s’utilitzen a tot el món. El sistema circulant de nitrogen líquid VJ dels equips criogènics HL (HL CRYO) i els equips MBE de diversos models de DCA tenen l'experiència de concordança en molts projectes, com el Model P600, R450, SGC800, etc.

TCM (2)

Taula de rendiment

Institut de Física Tècnica de Xangai, Acadèmia de Ciències xineses
L’onzè Institut de la Xina de la Xina Electronics Technology Corporation
Institut de Semiconductors, Acadèmia Xinesa de Ciències
Huawei
Alibaba Damo Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Photonics Everbright Suzhou

Hora de la publicació: 26-2021 de maig

Deixa el teu missatge