El projecte Chip MBE completat en els darrers anys

Tecnologia

L'epitàxia de feix molecular, o MBE, és una nova tècnica per al creixement de pel·lícules primes de cristalls d'alta qualitat sobre substrats cristallins. En condicions d'ultra alt buit, mitjançant una estufa de calefacció equipada amb tots els components necessaris, es genera vapor a través de forats formats després de la colimació del feix atòmic o molecular, s'injecta directament a la temperatura adequada del substrat monocristall. Alhora, controlant l'escaneig del feix molecular al substrat, es pot fer que les molècules o àtoms en capes d'alineació del cristall formin una pel·lícula prima sobre el substrat.

Per al funcionament normal dels equips MBE, cal que el nitrogen líquid d'alta puresa, baixa pressió i ultranet es transporti de manera contínua i estable a la cambra de refrigeració de l'equip. En general, un tanc que subministra nitrogen líquid té una pressió de sortida d'entre 0,3 MPa i 0,8 MPa. El nitrogen líquid a -196 ℃ es vaporitza fàcilment en nitrogen durant el transport per canonada. Un cop el nitrogen líquid amb una relació gas-líquid d'aproximadament 1:700 es gasifica a la canonada, ocuparà una gran quantitat d'espai de flux de nitrogen líquid i reduirà el flux normal al final de la canonada de nitrogen líquid. A més, al tanc d'emmagatzematge de nitrogen líquid, és probable que hi hagi restes que no s'han netejat. A la canonada de nitrogen líquid, l'existència d'aire humit també conduirà a la generació d'escòria de gel. Si aquestes impureses es descarreguen a l'equip, es causaran danys imprevisibles a l'equip.

Per tant, el nitrogen líquid del dipòsit d'emmagatzematge exterior es transporta a l'equip MBE al taller sense pols amb alta eficiència, estabilitat i neteja, i la baixa pressió, sense nitrogen, sense impureses, 24 hores ininterrompudes, aquest sistema de control de transport és un producte qualificat.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Equipament MBE corresponent

Des del 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ha estat optimitzant i millorant aquest sistema i cooperant amb fabricants internacionals d'equips MBE. Els fabricants d'equips MBE, com ara DCA i REBER, mantenen relacions de cooperació amb la nostra empresa. Els fabricants d'equips MBE, com ara DCA i REBER, han cooperat en un gran nombre de projectes.

Riber SA és un proveïdor líder mundial de productes d'epitàxia de feix molecular (MBE) i serveis relacionats per a la investigació de semiconductors compostos i aplicacions industrials. El dispositiu Riber MBE pot dipositar capes molt fines de material sobre el substrat, amb controls molt alts. L'equip de buit de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) està equipat amb Riber SA. L'equip més gran és el Riber 6000 i el més petit és el Compact 21. Està en bon estat i ha estat reconegut pels clients.

El DCA és el MBE d'òxid líder mundial. Des del 1993, s'ha dut a terme un desenvolupament sistemàtic de tècniques d'oxidació, escalfament de substrats antioxidants i fonts antioxidants. Per aquest motiu, molts laboratoris líders han triat la tecnologia d'òxid DCA. Els sistemes MBE de semiconductors compostos s'utilitzen arreu del món. El sistema de circulació de nitrogen líquid VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i l'equip MBE de múltiples models de DCA tenen l'experiència equivalent en molts projectes, com ara el model P600, R450, SGC800, etc.

tcm (2)

Taula de rendiment

Institut de Física Tècnica de Xangai, Acadèmia Xinesa de les Ciències
L'11è Institut de la Corporació de Tecnologia Electrònica de la Xina
Institut de Semiconductors, Acadèmia Xinesa de les Ciències
Huawei
Acadèmia Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotònica Everbright de Suzhou

Data de publicació: 26 de maig de 2021

Deixa el teu missatge