Els sistemes de refrigeració de nitrogen líquid s'utilitzen àmpliament a la indústria de semiconductors i xips, inclòs el procés de,
- La tecnologia de l'epitaxia de feix molecular (MBE)
- Prova del xip després del paquet COB
Productes relacionats
Sèrie de canonades aïllades al buit
Sèrie de mànegues flexibles aïllades al buit
Sistema de bomba de buit dinàmica
Sèrie de separadors de fases aïllats al buit
Sèrie de vàlvules aïllades al buit
Equips de suport del sistema de canonades
EPITAXI DE FIX MOLECULAR
La tecnologia de Molecular Beam Epitaxy (MBE) es va desenvolupar a la dècada de 1950 per preparar materials de pel·lícula fina semiconductors mitjançant la tecnologia d'evaporació al buit. Amb el desenvolupament de la tecnologia de buit ultra alt, l'aplicació de la tecnologia s'ha estès al camp de la ciència dels semiconductors.
HL ha notat la demanda del sistema de refrigeració de nitrogen líquid MBE, la columna vertebral tècnica organitzada per desenvolupar amb èxit un sistema especial de refrigeració de nitrogen líquid MBE per a la tecnologia MBE i un conjunt complet de sistemes de canonades aïllades al buit, que s'han utilitzat en moltes empreses, universitats i instituts de recerca. .
Els problemes comuns de la indústria de semiconductors i xips inclouen,
- La pressió del nitrogen líquid a l'equip terminal (MBE). Eviteu la sobrecàrrega de pressió per danyar l'equip terminal (MBE).
- Múltiples controls d'entrada i sortida de líquids criogènics
- La temperatura del nitrogen líquid a l'equip terminal
- Una quantitat raonable d'emissions de gasos criogènics
- Canvi (automàtic) de línies principals i derivades
- Ajust de pressió (reducció) i estabilitat de VIP
- Neteja de les possibles impureses i residus de gel del tanc
- Temps d'ompliment de l'equip de líquid terminal
- Prerefrigeració de canonades
- Resistència líquida en sistema VIP
- Controlar la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu del sistema
La canonada aïllada al buit (VIP) de HL està construïda segons el codi de canonades de pressió ASME B31.3 com a estàndard. Experiència en enginyeria i capacitat de control de qualitat per garantir l'eficiència i la rendibilitat de la planta del client.
SOLUCIONS
HL Cryogenic Equipment ofereix als clients el sistema de canonades aïllades al buit per complir els requisits i les condicions de la indústria de semiconductors i xips:
1.Sistema de gestió de la qualitat: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2. Un separador de fases especial amb entrada i sortida de líquids criogènics múltiples amb funció de control automàtic compleix els requisits d'emissió de gasos, nitrogen líquid reciclat i temperatura del nitrogen líquid.
3. El disseny d'escapament adequat i oportú garanteix que l'equip terminal sempre funcioni dins del valor de pressió dissenyat.
4.La barrera gas-líquid es col·loca a la canonada VI vertical al final de la canonada VI. La barrera gas-líquid utilitza el principi de segellat de gas per bloquejar la calor des de l'extrem de la canonada VI cap a la canonada VI i reduir eficaçment la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu i intermitent del sistema.
5.VI Conductes controlades per la sèrie de vàlvules aïllades al buit (VIV): inclosa la vàlvula de tancament aïllada al buit (pneumàtica), la vàlvula de retenció aïllada al buit, la vàlvula reguladora aïllada al buit, etc. Es poden combinar diversos tipus de VIV per controlar el VIP com a requerit. VIV està integrat amb la prefabricació VIP del fabricant, sense tractament aïllat in situ. La unitat de segellat de VIV es pot substituir fàcilment. (HL accepta la marca de vàlvules criogèniques designada pels clients i després fa vàlvules aïllades al buit per HL. És possible que algunes marques i models de vàlvules no es puguin convertir en vàlvules aïllades al buit.)
6.Neteja, si hi ha requisits addicionals per a la neteja de la superfície del tub interior. Es suggereix que els clients triïn canonades d'acer inoxidable BA o EP com a canonades interiors VIP per reduir encara més els vessaments d'acer inoxidable.
7.Filtre aïllat al buit: Netegeu les possibles impureses i els residus de gel del dipòsit.
8.Després d'uns dies o més d'aturada o manteniment, és molt necessari refredar prèviament la canonada VI i l'equip terminal abans que s'introdueixi el líquid criogènic, per evitar l'escòria de gel després que el líquid criogènic entri directament a la canonada VI i l'equip terminal. La funció de prerefrigeració s'ha de tenir en compte en el disseny. Proporciona una millor protecció per a equips terminals i equips de suport de canonades VI com ara vàlvules.
9. Vestit per a sistemes de canonades amb aïllament al buit dinàmic i estàtic (flexible).
10.Sistema de canonades d'aïllament al buit dinàmic (flexible): consisteix en mànegues flexibles VI i/o canonades VI, mànegues de pont, sistema de vàlvules aïllades al buit, separadors de fases i sistema de bombes de buit dinàmiques (incloses les bombes de buit, vàlvules solenoides i manòmetres de buit, etc.). ). La longitud de la mànega flexible VI individual es pot personalitzar segons els requisits de l'usuari.
11.Diversos tipus de connexió: es poden seleccionar el tipus de connexió de baioneta al buit (VBC) i la connexió soldada. El tipus VBC no necessita tractament aïllat in situ.
