Els sistemes de refrigeració de nitrogen líquids s’utilitzen àmpliament en la indústria de semiconductors i xips, inclòs el procés de,
- La tecnologia de l’epitaxi de feix molecular (MBE)
- La prova del xip després del paquet COB
Productes relacionats
Sèrie de canonades aïllades al buit
Sèrie de mànega flexible aïllada al buit
Sistema de bombes de buit dinàmic
Sèrie de separador de fase aïllat al buit
Sèrie de vàlvules aïllades de buit
Equip de suport del sistema de canonades
Epitaxi de feix molecular
La tecnologia de l’epitaxi de feix molecular (MBE) es va desenvolupar a la dècada de 1950 per preparar materials de pel·lícula fina de semiconductors mitjançant tecnologia d’evaporació de buit. Amb el desenvolupament de la tecnologia de buit ultra-alt, l’aplicació de la tecnologia s’ha estès al camp de la ciència dels semiconductors.
HL ha notat la demanda del sistema de refrigeració de nitrogen líquid MBE, organitzat columna vertebral tècnica per desenvolupar amb èxit un sistema especial de coo de nitrogen líquid MBE per a la tecnologia MBE i un conjunt complet de sistemes de canonades aïllades de buit, que ha estat utilitzat en moltes empreses, universitats i instituts de recerca .
Els problemes comuns de la indústria de semiconductors i xip inclouen,
- La pressió del nitrogen líquid en equips de terminal (MBE). Eviteu la sobrecàrrega de la pressió que perjudiqui els equips del terminal (MBE).
- Múltiples controls de líquid criogènic i controls de sortida
- La temperatura del nitrogen líquid en equips terminals
- Una quantitat raonable d’emissions de gas criogèniques
- (Automàtic) Commutació de línies principals i branques
- Ajust de pressió (reducció) i estabilitat de VIP
- Netejar les possibles impureses i residus de gel del dipòsit
- Temps d'ompliment dels equips líquids del terminal
- Pipeline Precooling
- Resistència al líquid en el sistema VIP
- Controlar la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu del sistema
La canonada aïllada de buit de HL (VIP) està construïda al codi de canonades de pressió ASME B31.3 com a estàndard. Experiència d’enginyeria i capacitat de control de qualitat per assegurar l’eficiència i la rendibilitat de la planta del client.
Solucions
L’equip criogènic HL proporciona als clients el sistema de canonades aïllades de buit per satisfer els requisits i les condicions de la indústria de semiconductors i xips:
1. Sistema de gestió de la qualitat: ASME B31.3 Codi de canonades de pressió.
2. Un separador de fase especial amb múltiples entrades i sortida de líquid criogènic amb funció de control automàtic compleix el requisit d’emissió de gas, nitrogen líquid reciclat i temperatura del nitrogen líquid.
El disseny de l'escapament adequat i oportú garanteix que els equips de terminal sempre funcionin dins del valor de pressió dissenyat.
4. La barrera de gas-líquid es col·loca a la canonada VI VIRTICAL al final de la canonada VI. La barrera del gas-líquid utilitza el principi de segell de gas per bloquejar la calor des del final del gasoducte VI a la canalització VI i reduir eficaçment la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu i intermitent del sistema.
5.VI Piping controlada per la sèrie de vàlvula aïllada de buit (VIV): inclosa la vàlvula de tancament aïllada de buit (pneumàtica), vàlvula de control aïllada de buit, vàlvula reguladora aïllada al buit, etc. Diversos tipus de VIV es poden combinar per controlar el VIP com a obligatori. El VIV està integrat amb la prefabricació VIP en el fabricant, sense tractament aïllat in situ. La unitat de segell de VIV es pot substituir fàcilment. (HL accepta la marca de vàlvules criogèniques designada pels clients i, a continuació, fa que les vàlvules aïllades de buit per HL. Algunes marques i models de vàlvules poden no ser capaços de convertir -se en vàlvules aïllades de buit.)
6. Cleanitat, si hi ha requisits addicionals per a la neteja de la superfície del tub interior. Es suggereix que els clients trien canonades d’acer inoxidable BA o EP com a canonades interiors VIP per reduir encara més el vessament d’acer inoxidable.
7. Filtre aïllat de Vacuum: netegeu les possibles impureses i els residus de gel del dipòsit.
8. Després d’uns dies o més d’aturada o manteniment, és molt necessari precolar l’equip de canonades VI i terminal abans que s’introdueixi el líquid criogènic, per tal d’evitar la escòria de gel després que el líquid criogènic entri directament a l’equip de canonades VI i terminal. La funció precouring s'ha de considerar en el disseny. Proporciona una millor protecció per als equips de terminal i els equips de suport de canonades VI com ara vàlvules.
9. Suit tant per al sistema de canonades aïllats (flexibles) dinàmics i estàtics.
10. Sistema de canonades aïllat (flexible) de buit (flexible): consisteix en mànegues flexibles VI i/o canonades VI, mànegues de pont, sistema de vàlvules aïllades de buit, separadors de fase i sistema de bomba de buit dinàmic (incloses les bombes de buit, vàlvules de solenoide i els calibres de buit, etc. )). La longitud de la mànega flexible de VI es pot personalitzar segons els requisits de l'usuari.
11. Tipus de connexió Various: Es pot seleccionar el tipus de connexió de bayonet de buit (VBC) i la connexió soldada. El tipus VBC no necessita un tractament aïllat in situ.
