Els sistemes de refrigeració amb nitrogen líquid s'utilitzen àmpliament en la indústria dels semiconductors i els xips, incloent-hi el procés de,
- La tecnologia d'epitàxia de feix molecular (MBE)
- La prova del xip després del paquet COB
Productes relacionats
Sèrie de canonades aïllades al buit
Sèrie de mànegues flexibles aïllades al buit
Sistema de bomba de buit dinàmic
Sèrie de separadors de fase aïllats al buit
Sèrie de vàlvules aïllades al buit
Equip de suport del sistema de canonades
EPITAXIA DE FEIXOS MOLECULARS
La tecnologia d'epitàxia de feix molecular (MBE) es va desenvolupar a la dècada del 1950 per preparar materials de pel·lícula fina semiconductors mitjançant la tecnologia d'evaporació al buit. Amb el desenvolupament de la tecnologia d'ultra alt buit, l'aplicació de la tecnologia s'ha estès al camp de la ciència dels semiconductors.
HL ha observat la demanda del sistema de refrigeració amb nitrogen líquid MBE, ha organitzat la base tècnica per desenvolupar amb èxit un sistema especial de refrigeració amb nitrogen líquid MBE per a la tecnologia MBE i un conjunt complet de sistemes de canonades aïllades al buit, que s'ha utilitzat en moltes empreses, universitats i instituts de recerca.
Els problemes comuns de la indústria dels semiconductors i els xips inclouen:
- La pressió del nitrogen líquid a l'equip terminal (MBE). Evitar que la sobrecàrrega de pressió danyi l'equip terminal (MBE).
- Controls múltiples d'entrada i sortida de líquid criogènic
- La temperatura del nitrogen líquid als equips terminals
- Una quantitat raonable d'emissions de gasos criogènics
- Commutació (automàtica) de línies principals i derivades
- Ajust de la pressió (reducció) i estabilitat del VIP
- Neteja de les possibles impureses i residus de gel del dipòsit
- Temps d'ompliment de l'equip de líquid terminal
- Prerefredament de canonades
- Resistència a líquids en el sistema VIP
- Control de la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu del sistema
La canonada aïllada al buit (VIP) de HL està fabricada segons el codi de canonades a pressió ASME B31.3 com a estàndard. L'experiència en enginyeria i la capacitat de control de qualitat garanteixen l'eficiència i la rendibilitat de la planta del client.
SOLUCIONS
HL Cryogenic Equipment proporciona als clients el sistema de canonades aïllades al buit per complir els requisits i les condicions de la indústria dels semiconductors i els xips:
1. Sistema de gestió de qualitat: Codi de canonades a pressió ASME B31.3.
2. Un separador de fases especial amb entrada i sortida de líquid criogènic múltiple amb funció de control automàtic compleix els requisits d'emissió de gasos, nitrogen líquid reciclat i temperatura del nitrogen líquid.
3. Un disseny d'escapament adequat i oportú garanteix que l'equip terminal sempre funcioni dins del valor de pressió dissenyat.
4. La barrera gas-líquid es col·loca a la canonada VI vertical al final de la canonada VI. La barrera gas-líquid utilitza el principi de segellat de gas per bloquejar la calor des de l'extrem de la canonada VI fins a la canonada VI i reduir eficaçment la pèrdua de nitrogen líquid durant el servei discontinu i intermitent del sistema.
5. Canonades VI controlades per la sèrie de vàlvules aïllades al buit (VIV): Inclou vàlvules de tancament aïllades al buit (pneumàtiques), vàlvules de retenció aïllades al buit, vàlvules reguladores aïllades al buit, etc. Diversos tipus de VIV es poden combinar modularment per controlar la VIP segons calgui. La VIV s'integra amb la prefabricació VIP al fabricant, sense tractament aïllat in situ. La unitat de segellat de la VIV es pot substituir fàcilment. (HL accepta la marca de vàlvula criogènica designada pels clients i després fabrica vàlvules aïllades al buit per HL. Algunes marques i models de vàlvules poden no poder convertir-se en vàlvules aïllades al buit.)
6. Neteja, si hi ha requisits addicionals per a la neteja de la superfície del tub interior. Es recomana que els clients triïn canonades d'acer inoxidable BA o EP com a canonades interiors VIP per reduir encara més els vessaments d'acer inoxidable.
7. Filtre aïllat al buit: Netegeu les possibles impureses i residus de gel del dipòsit.
8. Després d'uns dies o més d'aturada o manteniment, és molt necessari prerefredar les canonades VI i l'equip terminal abans que hi entri líquid criogènic, per tal d'evitar l'escòria de gel després que el líquid criogènic entri directament a les canonades VI i a l'equip terminal. Cal tenir en compte la funció de prerefredament en el disseny. Proporciona una millor protecció per als equips terminals i els equips de suport de les canonades VI, com ara les vàlvules.
9. Apte per a sistemes de canonades aïllades al buit (flexibles) tant dinàmics com estàtics.
10. Sistema de canonades aïllades al buit (flexibles) dinàmic: consta de mànegues flexibles VI i/o canonades VI, mànegues de connexió, sistema de vàlvules aïllades al buit, separadors de fase i sistema de bombes de buit dinàmic (incloses les bombes de buit, les vàlvules solenoides i els vacuòmetres, etc.). La longitud de la mànega flexible VI individual es pot personalitzar segons els requisits de l'usuari.
11. Diversos tipus de connexió: es pot seleccionar el tipus de connexió de baioneta al buit (VBC) i la connexió soldada. El tipus VBC no necessita tractament d'aïllament in situ.
